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Leybold干式真空泵工作原理及應(yīng)用介紹
日期：2025-05-05 03:58
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摘要：
Leybold干式真空泵工作原理及應(yīng)用介紹
Leybold干式真空泵是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵，其工作腔內(nèi)完全干燥，因此能避免油蒸氣污染，特別適用于對潔凈度要求高的工藝環(huán)境。以下是關(guān)于干式真空泵的詳細(xì)介紹：
工作原理
Leybold干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)（如旋轉(zhuǎn)、往復(fù)等）直接壓縮和排出氣體，無需液體密封或潤滑。常見的工作原理包括：
容積式原理：通過腔體容積的變化吸入、壓縮和排出氣體（如螺桿式、爪式、渦旋式等）。
多級(jí)壓縮：多級(jí)泵串聯(lián)，逐級(jí)提高真空度。
Leybold干式真空泵應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體/LED：晶圓加工、刻蝕、離子注入。
光伏：薄膜太陽能電池生產(chǎn)。
化工/制藥：溶劑回收、干燥、蒸餾。
科研：同步輻射、電子顯微鏡。
食品包裝：無油污染要求的真空封裝。
