產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級(jí)與帶來(lái)額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2抽速高可達(dá) 66ls-1。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級(jí)泵。
詳情介紹：
概述
EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級(jí)與帶來(lái)額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2抽速高可達(dá) 66ls-1。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級(jí)泵。
功能和優(yōu)勢(shì)
通過(guò)板上控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動(dòng)、冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)排氣選件。
與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
并行或串行接口。
并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號(hào)界面。
串行模式提供 RS232，可以控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
排氣閥控制設(shè)置
運(yùn)行速度指示
待機(jī)運(yùn)行速度
可編程功率設(shè)置
功耗
泵/控制器溫度
標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
用于清潔泵、減少振動(dòng)和大程度降低磨損的永磁上軸承。
手動(dòng)排氣閥（電磁閥操作的型號(hào)可以用于全自動(dòng)排氣）。
Holweck 分級(jí)實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力容差。
氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。
數(shù)據(jù)
| 進(jìn)氣口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 法蘭 | DN16NW |
| 排氣/吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
| 抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) |
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| N2 | 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) |
| He | 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) |
| H2 | 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) |
| 壓縮比 |
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| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 前級(jí)泵 | RV5/nXDS6i |
| 大連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）? |
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| 水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar |
| 強(qiáng)制空氣冷卻，35 °C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋轉(zhuǎn)速度 |
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| 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm |
| 待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 |
在 49500 至 90000 rpm 之間變化 （63000 rpm 默認(rèn)） |
| 可編程功率限制設(shè)置 | 可在 50 至 120W 之間變化（默認(rèn)為 80W） |
| 模擬輸出 |
轉(zhuǎn)速； 功耗；泵溫度；控制器溫度 |
| 到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間 | 110 s ? |
| 極限壓力 (ISO/CF) |
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| RV 前級(jí)泵 | <5 x 10-9/5 x 10-10 |
| 隔膜前級(jí)泵 | <5 x 10-8/5 x 10-9 |
| 冷卻方法# | 強(qiáng)制空氣/水 |
| 強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C |
| 冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水溫范圍 | 10 - 20 °C |
| 高進(jìn)氣口法蘭溫度 | 100 °C |
| 操作姿態(tài) |
垂直且豎直，直到 水平 |
| 1 米處的噪音級(jí)別 | <50 dB(A) |
| 泵可以承受的大磁場(chǎng) | 5 mT |
| 控制器 | TIC100 |
| 靜止電功率 | 10 W |
? 在此入口壓力之上，旋轉(zhuǎn)速度會(huì)降至低于標(biāo)稱速度。
? 功率限制設(shè)置為 80 W。
# 空氣和水冷卻附件須單獨(dú)訂購(gòu)
