產品詳情
簡單介紹:
HT 高吞吐量系列是我們擴散泵產品中的產品,采用針對工業(yè)級用戶的制造。
Edwards HT16B(ANSI16/ISO5000 進氣口)擴散泵可用于高、低負荷的工業(yè)應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供極高的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩(wěn)定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供極高的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業(yè)制程。
詳情介紹:
概述
HT 高吞吐量系列是我們擴散泵產品中的產品,采用針對工業(yè)級用戶的制造。
Edwards HT16B(ANSI16/ISO5000 進氣口)擴散泵可用于高、低負荷的工業(yè)應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供極高的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩(wěn)定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供極高的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業(yè)制程。
Edwards HT16B(ANSI16/ISO5000 進氣口)擴散泵可用于高、低負荷的工業(yè)應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供極高的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩(wěn)定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供極高的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業(yè)制程。
應用
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真空冶金
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蒸餾、干燥和脫氣
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薄膜覆層和噴鍍
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大型研究活動
功能和優(yōu)勢
- 與同等尺寸的泵相比,吞吐量高
- 與同等尺寸的泵相比,轉換壓力快
- 的大前級壓力和對氣體激增的耐受性
- 與同等尺寸的泵相比,具有無可比擬的抽速
- 集成的冷卻帽,可實現(xiàn)佳性能和極低的回流
- 針對低壓的自行分餾
- 易于更換的加熱器組件
- 半功率節(jié)能待機模式
- 油位觀察窗為標準配置
數(shù)據(jù)
相對抽速 | 11580 ls-1 |
ISO 抽速? |
|
氮氣 | 6500 ls-1 |
氦氣 | 7200 ls-1 |
AVS 泵送 |
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氮氣 | 7220 ls-1 |
氦氣 | 8000 ls-1 |
大吞吐量(氮氣) | 18 mbar ls-1 |
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13.5 Torr ls-1 |
臨界前級壓力 (DC704EU) | 1.4 mbar |
|
1 Torr |
大吞吐量時的前級泵排量 | 94 m3h-1 |
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55 ft3min-1 |
的前級泵? | GV80,GXS250,E2M175 |
的液體 | DC704EU |
液體充填量(干) | 2400 ml / 2.5 qt |
進氣口/前級連接 | ANSI16/ANSI3 或 |
|
ISO500/ISO100 |
水接頭 | 3/4 英寸 NPT 母頭 |
加熱器功率 | 9 kW/12 hp |
預熱時間 | 60 min |
冷卻水流量(25 °C 時) | 700 l h-1 / 3.1 US gal min-1 |
冷卻水供給源兩端的壓力降 | 1 bar / 14.5 psi |
重量 | 185 kg / 408 lbs |
? 通過總壓力測量獲得的 ISO 速度和吞吐量數(shù)據(jù)。部分壓力讀數(shù)通常使數(shù)據(jù)增加 ~30%。對于同一個泵,ISO 速度測量通常比 AVS 測量小 10%。
? 提供這些數(shù)據(jù)僅供參考,請聯(lián)系 Edwards 獲得適合您的應用的泵組合建議。