產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應用工具的一體化解決方案。
詳情介紹：
製品概要
STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應用工具的一體化解決方案。
用途
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送和站
特性與優(yōu)勢
- 緊湊型設(shè)計，包括集成的控制器
- 性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
- 數(shù)字化 5 軸控制
- 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
- 可以配置為運行腐蝕性制程
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | ISO250F/VG250/ICF305 |
| 前級抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
| 壓縮比 N2/H2 | >108 / 1 x 104 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允許的前級壓力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 大氣流 N2 （僅水冷） | 3000 sccm |
|
|
(5.07 Pam3s-1) |
| 大氣流 Ar （僅水冷） | 1400 sccm |
|
|
(2.36 Pam3s-1) |
| 額定速度 | 27000 rpm |
| 運轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時間 | <8 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 輸入電壓 | 200-240 V |
| 大輸入功率（不帶 TMS） | 1200 VA |
| 重量 | 62 kg |
大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 大?。┑那闆r。 它會隨條件變化而變化。
