產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。
詳情介紹：
製品概要
STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。
用途
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送和站
特性與優(yōu)勢(shì)
- 緊湊型設(shè)計(jì)，包括集成的控制器
- 性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
- 數(shù)字化 5 軸控制
- 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
- 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | ISO250F / VG250 / ICF305 |
| 前級(jí)抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2 | 2650 ls-1 |
| 抽速 Ar | 2300 ls-1 |
| 壓縮比 N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允許的前級(jí)壓力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 大氣流 N2 （僅水冷） | 4000 sccm |
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(6.76 Pam3s-1) |
| 大氣流 Ar （僅水冷） | 2100 sccm |
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(3.55 Pam3s-1) |
| 額定速度 | 27700 rpm |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | <10 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 輸入電壓 | 200-240 V |
| 大輸入功率（不帶 TMS） | 1500 VA |
| 大輸入功率（帶 TMS） | 1800 VA |
| 重量 | 80 kg |
大氣流適用于在 25 oC 以下的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級(jí)泵（10,000 l/min 尺寸）的情況。 它會(huì)隨條件變化而變化。
