產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Edwards STP451 用于電子顯微鏡和半導體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP451 已經(jīng)由科學儀器、半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
詳情介紹：
概述
Edwards STP451 用于電子顯微鏡和半導體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP451 已經(jīng)由科學儀器、半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。
如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。
如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
應(yīng)用
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送端點站
- MBE
- 擴散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負載鎖真空腔
- 科學儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理：射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子
-
大的制程靈活性
-
無油
-
低振動
-
高度
-
免維護
-
自動調(diào)整
-
自行診斷功能
-
直流電機驅(qū)動
-
無電池運行
-
占地面積小
-
半機架控制器
技術(shù)データ
| 入口法蘭 | ISO160 |
| KF25 | |
| 抽取速度 |
|
| N2 | 440 l s-1 |
| H2 | 275 l s-1 |
| 壓縮比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 大允許入口壓力 |
|
| 環(huán)境空氣冷卻 | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
| 大連續(xù)壓力 |
|
| 環(huán)境空氣冷卻 | 13 Pa (0.1 Torr) |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 3 min |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 V 交流(± 10) 或 |
|
|
200 至 240 V 交流(± 10) |
| 功耗 |
|
| 啟動 | 0.55 kVA |
| 重量 |
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| 泵 | 12 kg |
| 控制器 | 7 kg |
