產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Edwards 的高性能 STPH451C 渦輪分子泵是為嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種泵經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的性和的性能可以實(shí)現(xiàn)大的制程靈活性。STPH451C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
詳情介紹：
概述
Edwards 的高性能 STPH451C 渦輪分子泵是為嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種泵經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的性和的性能可以實(shí)現(xiàn)大的制程靈活性。STPH451C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
應(yīng)用
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
- MBE
- 擴(kuò)散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負(fù)載鎖真空腔
- 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理：射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子
-
更高的氣體吞吐量
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大的制程靈活性
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無油
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低振動
-
高度
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免維護(hù)
-
可用于嚴(yán)苛制程
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使用壽命延長
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自動調(diào)整
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自行診斷功能
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直流電機(jī)驅(qū)動
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無電池運(yùn)行
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占地面積小
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半機(jī)架控制器
-
無污染
-
少維護(hù)
-
任意方向操作
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO160K |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF10 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 |
|
| N2 | 450 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 壓縮比 |
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| N2 | >108 |
| H2 | 103 |
| 加熱時的極限壓力 | 10-7 Pa |
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(10-9 Torr) |
| 大連續(xù)壓力 | 660 Pa |
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(5 Torr) |
| 大氮?dú)馔掏铝? | 2500 sccm |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 4 分鐘 |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
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200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.6 kVA |
| 泵重量 | 15 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
