產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
詳情介紹：
製品概要
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和優(yōu)勢
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的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
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改進(jìn)的氬氣性能
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同類產(chǎn)品中抽速高
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寬的制程范圍
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在較低壓力下具有較高的吞吐量
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免維護(hù)
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可用于嚴(yán)苛制程
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5 軸磁懸浮系統(tǒng)
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無污染
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低振動
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高度
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經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
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低沉積
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內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置
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更高的氣體吞吐量
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使用壽命延長
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符合標(biāo)準(zhǔn)
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列于 UL 中，具有 CE 標(biāo)記，符合 SEMI® S2
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
| 前級抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 |
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| N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
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（取決于具體型號） |
| H2 | 2500 ls-1 |
| 壓縮比 |
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| N2 | >108 |
| H2 | 6 x 103 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
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大允許氣體流量 N2 （僅水冷卻） |
2800 sccm |
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4.73 Pam3s-1 |
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大允許氣體流量 Ar （僅水冷卻） |
2150 sccm |
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3.63 Pam3s-1 |
| 額定速度 | 24000 rpm |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時(shí)間 | 12 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷卻 |
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| 流量 | 3 lmin-1 |
| 溫度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
| 輸入電壓 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
| 大輸入功率（不帶 TMS） | 1.5 KVA |
